Si50x新型高可靠性MEMS振荡器 美国芯科实验室  

出　　处：《传感器世界》2013年第7期49-49,共1页Sensor World

摘　　要：新型高可靠性Si50xMEMS振荡器利用SiliconLabs专利的CMEMS。技术，可确保在10年以上工作寿命中具有稳定的温度和抗老化性能。基于可靠供应链的短交付周期、标准装配和CMOS大规模生产线工艺和质量，这些新型的基于MEMS的硅振荡器容易配置、向下兼容且已经量产就绪。

关 键 词：硅振荡器 MEMS 高可靠性 实验室 美国 抗老化性能 工作寿命 交付周期 

分 类 号：TN752[电子电信—电路与系统]