非线性包层结构紫外固化聚合物阵列波导光栅研制  

Research and Fabrication of a Ultraviolet Curable Polymeric Arrayed Waveguide Grating with Nonlinear Cladding

作　　者：王雷[1] 李然[1] 牛小艳[1] 王菲[1] 孙小强[1] 陈长鸣[1] 张大明[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林长春130012

出　　处：《中国激光》2013年第8期115-119,共5页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家自然科学基金(61107019;61077041;61177027);教育部高等学校博士点专项科研基金(20110061120054);中国博士后科学基金面上项目(2011M500597);中国博士后科学基金特别资助项目(2012T50277);吉林省科技发展计划项目(20110315);吉林省青年科学基金(20100174);吉林大学大学生创新创业训练计划项目(2012A51136;2012B51124)

摘　　要：利用自主合成的非线性有机-无机复合材料作为包层,紫外光敏型SU-8负胶为芯层,通过直接光写入技术成功研制了双有源包层结构聚合物41×41信道阵列波导光栅(AWG)器件。器件在设计中采用正矩形的波导结构。经计算,当包层厚度为5μm,芯径尺寸为4mm×4μm时,可实现单模传输。器件波长间隔定为0.8nm,中心波长为1550nm。经测试,该器件传输损耗为1.2dB/cm,中心信道衍射损耗为6.2dB,实测波长间隔为0.793nm,器件的温度漂移量为-0.08nm/℃。A compact 41× 41 arrayed waveguide grating （AWG） device with double active layers is fabricated by using SU-8 minus negative core whose type is ultraviolet （UV） light-sensitive type and organic-inorganic hybrid material cladding. A rectangular waveguide structure is selected in the calculation of AWG and the single mode can be achieved with cladding thickness of 5 μm and the core cross sectional area of 4μm × 4μm. For the AWG device, the channel space is set as 0.8 nm with the central wavelength of 1550 nm. After testing, the transmission loss is 1.2 dB/cm, the diffraction loss of the central channel is 6. 2 dB, the tested channel space is 0. 793 nm and the central wavelength shift is -0.08 nm/℃ .

关 键 词：光通信 光学器件 阵列波导光栅 平面光波回路 聚合物波导 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]