高集成度基于MEMS的全硅振荡器  

出　　处：《今日电子》2013年第8期63-63,共1页Electronic Products

摘　　要：与观有的频率控制解决方案相比，Silicon Labs Si50xCMEMS振荡器系列产品县有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及史高集成度，其采用专有技术的单体架构，任荦．芯片（Singl-die）上集成MEMS谐振器和CMOS振荡器电路。

关 键 词：MEMS谐振器 高集成度 硅振荡器 Silicon CMOS振荡器 频率控制 LABS 高可靠性 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]