电子背散射衍射试样的制备技术  

Preparation of Sample for Electron Backscattered Diffraction

作　　者：王疆[1] 岳俊伟[2] 郦剑[3] 王幼文[3] 

机构地区：[1]辽宁科技大学高等职业技术学院,辽宁鞍山114044 [2]中冶北方工程技术有限公司,辽宁鞍山114000 [3]浙江大学金属材料研究所,浙江杭州310027

出　　处：《热处理》2013年第4期71-74,共4页Heat Treatment

摘　　要：电子背散射衍射试样的制备质量对其成像效果有重要的影响。电子背散射衍射试样的制备方法已由传统的机械抛光、机械-化学抛光和电解抛光发展到离子减薄、聚焦离子束和最新的截面抛光等。介绍了工业纯铁和PbTiO_3微米粉末电子背散射衍射试样的制备方法。The preparation quality of electron backscatter diffraction （ EBSD ） sample will exert a significant influence on the imaging effect .The methods of preparing EBSD sample have developed from conventional mechanical , mechanical-chemical and electrolytic polishings to ion thinning , focused ion-beam and cross section polishing .The examples of preparing EBSD samples of pure iron and micro-level PbTiO 3 powder were introduced .

关 键 词：电子背散射衍射 试样制备 机械 化学抛光 电解抛光 

分 类 号：TG115.211[金属学及工艺—物理冶金]