一种大量程加速度传感器的性能测试  

Performance Testing of a High Range Accelerometer

作　　者：周智君[1,2] 石云波[1,2] 唐军[1,2] 丁宇凯[1,2] 

机构地区：[1]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 [2]中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051

出　　处：《传感技术学报》2013年第6期834-837,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国防科工委国防基础科研项目基金项目(A3320110004)

摘　　要：设计的一种大量程加速度传感器敏感单元采用一对双端固支结构,实现硅平面内加速度的测量,通过马歇特锤冲击测试试验和Hopkinson杆激光干涉冲击测试,分别标定了传感器的灵敏度和动态响应,试验结果表明:测试传感器的灵敏度为0.126μV/gn,工作频带为21.46 kHz,工作频带的动态重复性为3.9%,能够满足实际的测试需求,为实现单芯片集成三独立质量块结构的三轴加速度传感器提供了参考依据。A high range accelerometer with a pair of double-clamped beam-mass structure can measure in-plan accel- eration. Machete hammer and Hopkinson bar are used to test the sensitivity and the dynamic response of the sensor. The results show that the sensitivity of the sensor is 0. 126 V/gn ,working frequency is 21.46 kHz, the dynamic repeatability of working band is 3.9% , meeting the actual requirements. To achieve triaxial accelerometerthe sensors on single-chip integration of three independent mass structure the reference data are provided.

关 键 词：加速度传感器 大量程 马歇特锤 HOPKINSON杆 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]