EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准  

出　　处：《电子工业专用设备》2013年第7期65-66,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商E dw ards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵 IPU P2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。该泵已经获得初步成功，在应用材料公司的多类新设备平台上取得了使用认证，并且已经向主要半导体制造商提供超过180套系统。

关 键 词：应用材料公司 真空泵 互锁 加载 腔体 输送 半导体制造商 尾气处理系统 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]