一个扫描电镜中频闪系统  

A Stroboscopic system for the Scanning Electron Microscope

作　　者：刘绪平[1] 余健业[1] 黄兰友 

机构地区：[1]中国科学院科学仪器厂

出　　处：《电子显微学报》1991年第3期301-306,共6页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文讨论了扫描电镜中频闪系统的设计要求和计算方法,介绍了我们的实验系统。采用高能电子束轰击InGaAs二极管,根据所产生的脉冲束感生电流信号判断已获得宽度小于5毫微秒的脉冲电子束。A stroboscopic system was built to produce pulsed electron beams. Pulse widths down to lese than 5nanoseconds were measured using a InGaAs diode which produces electron beam induced currents under elec- tron bombardment.

关 键 词：电子显微镜 频闪系统 设计 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]