用溶胶-凝胶法研制氧化铝绝缘薄膜  

作　　者：刘克俭[1] 申海涛 

机构地区：[1]西安交通大学 [2]西安无线电二厂

出　　处：《电子元件与材料》1991年第6期12-16,共5页Electronic Components And Materials

摘　　要：用溶胶-凝胶法技术制备的氧化铝绝缘薄膜材料呈非晶态,含有微量的微晶成分,单层薄膜在基片表面上的形貌呈岛状分布,多层薄膜表面有褶皱,具有“丝绒”状结构。随着热处理温度的升高,薄膜由非晶状逐步向晶态转化,薄膜的绝缘性能提高。600℃时因薄膜“塌陷”的产生,绝缘性能下降。500℃烧成的薄膜绝缘性能最好。

关 键 词：陶瓷薄膜 溶胶-凝胶法 氧化铝 

分 类 号：TM281[一般工业技术—材料科学与工程]