微机电系统的微波应用  

MEMS and Its Application in Microwave Field

作　　者：林守远[1] 顾墨琳[1] 

机构地区：[1]南京电子技术研究所,南京210013

出　　处：《微波学报》2000年第4期415-422,共8页Journal of Microwaves

摘　　要：介绍微机电系统 (MEMS)这一新兴技术及其在微波和毫米波领域的应用。给出几种典型部件示例。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), a developing technology in the microw ave and millimeter wave field is introduced in this paper. Some typical illustra tions for the application are given also.

关 键 词：微机电系统(微电-机械系统) 

分 类 号：TN454[电子电信—微电子学与固体电子学]