等厚干涉数字处理系统平晶测量不确定度分析  

Study on the Uncertainty of Measurement about the Digital Image Processing System of the Thickness Interferometer

作　　者：赵艳[1] 田勇[1] 

机构地区：[1]天津市计量监督检测科学研究院,天津300192

出　　处：《计量与测试技术》2013年第10期19-21,共3页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定。

关 键 词：测量不确定度 等厚干涉仪 CCD 图像处理 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]