自动光学检测系统（AOI）的真空系统机构及作用  

作　　者：邓振华 

机构地区：[1]康代影像(苏州)科技有限公司

出　　处：《中国机械》2013年第13期17-17,共1页Machine China

摘　　要：主要介绍AOI真空系统机构、真空系统的技术模块、真空系统在AOI系统中的作用、以及在PCB板检测过程中应用。

关 键 词：真空泵 真空系统机构 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]