PSD及其集成装置标定实验研究  

Research on Calibration Experiment of PSD and its Integrated Setup

作　　者：周正华[1] 蒋文军[1] 朱维乐[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子工程学院,四川成都610054

出　　处：《电子测量与仪器学报》2000年第4期6-9,共4页Journal of Electronic Measurement and Instrumentation

基　　金：国家自然科学资金

摘　　要：介绍PSD工作原理、标定原理 ;建立PSD实验平台 ,对PSD的多项性能指标进行标定 ;建立PSD集成装置的实验平台 ,对整个测量装置进行了现场标定 ;运用多种回归分析法 ,对PSD的线性度、迟滞、零漂等进行分析 ,从而得出PSD的各特性参数和标定方程 ,以及其集成装置的最优模型。PSD work principle and calibration methods are introduced. The experiment platforms about PSD and its integrated setup are built for calibration. Based on these experiments, several regressive analysis methods are used to deduce the character of PSD and its integrated setup. So the most optimum calibration equations of PSD and its integrated setup are obtained

关 键 词：PSD集成装置 标定 回归分析法 位置敏感传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]