3D激光显微镜在PCB表面粗糙度研究中的应用  

Application of 3D measuring laser microscope in surface roughness research for PCB

作　　者：宋建远 郑莎 朱拓 龙丽萍 

机构地区：[1]深圳崇达多层线路板有限公司,广东深圳518103

出　　处：《印制电路信息》2013年第11期38-41,共4页Printed Circuit Information

基　　金：广东省教育部产学研结合项目(2011B00000)专项资金资助

摘　　要：文章应用LEXT OLS4000激光扫描共聚焦显微镜对印制电路板芯板表面粗糙度进行测量,论述了PCB表面粗糙度测量方法及研究现状,并对其未来的研究发展方向进行了展望,以期进一步推动理论和应用研究的工作。In this paper, the surface roughness for PCB was studied by 3D laser scanning confocal microscope LEXT OLS4000. PCB surface roughness measurement methods are synthetically reviewed and advance direction of the research is prospected to promote the research in theory and application in the future.

关 键 词：激光扫描共聚焦显微镜 表面粗糙度 印制电路板 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]