重粒子在阴极鞘层中输运的理论模型  

THEORETICAL MODEL FOR THE HEAVY PARTICLE TRANSPORT IN A CATHODE SHEATH

作　　者：王德真[1] 马腾才[1] 

机构地区：[1]大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连116024

出　　处：《物理学报》2000年第12期2404-2407,共4页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金!(批准号 :19875 0 0 6和 19835 0 30 );高等学校博士学科点专项科研基金!(批准号 :980 14 10 9)资助的课题&&

摘　　要：建立了重粒子在阴极鞘层中输运的理论模型 ,推导出离子、中性粒子入射阴极表面速度分布函数和到达阴极的离子流、中性粒子流的解析表达式 .理论结果与蒙特 卡罗模拟相一致 .A theoretical model for studying the heavy particle transport in a cathode sheath is developed.The velocity distribution functions near a planar cathode are deduced.The expressions for neutral and ionic fluxes of neutral and ionic particles near a planar cathode are also obtained.The result predicated by the theoretical model is in accordance Monte Carlo simulation.

关 键 词：阴极鞘层 金属 重粒子输运 等离子体表面加工 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]