电子探针的样品台扫描成像技术  

Imaging technique of electron probe in sample stage scanning mode

作　　者：田地[1] 李艳平[2] 范国传 王微 于前洋[4] 

机构地区：[1]长春科技大学信息科学与技术学院,长春130026 [2]北京信息工程学院计算机科学与技术系,北京100101 [3]长春科技大学信息科学与技术学院测试中心,长春130026 [4]中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022

出　　处：《电子显微学报》2000年第5期743-746,共4页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：用微型计算机与电子探针控制机通讯 ,实现对各道波谱仪和样品台的实时控制 ,以及对各道定标器的数据采集 ;在选定的样品区域上设定采样步长和时间 ,边移动样品台边采集各道 X射线强度 ;用伪彩色、三维视图和内插放大等方式显示图像 ,解决了低倍 X射线像失真问题 ,观察到了辉石的隐环带等现象。A microcomputer is used to communicate with the controller of electron probe to control the spectrometers and the samp le stages as well as the scalers. Data of X-ray intensity are acquisited when t he sample stages are scanning in a certain step and time period. X-ray images w ere formed and shown in colors or in 3 dimensions, and have no distortion at lo w magnification. Hidden zonate phenomena of a picrite were found.

关 键 词：电子探针 图像采集 计算机 样品台 扫描成像技术 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]