瞬态薄膜热电传感器的新技术研究  

作　　者：邬云晨明 杨遂军[1] 于方舟[1] 叶树亮[1] 

机构地区：[1]中国计量学院计量测试工程学院

出　　处：《电子元件与材料》2013年第12期85-86,共2页Electronic Components And Materials

摘　　要：薄膜热电传感器由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为国内外学者研究的重点。现有的薄膜制备工艺不成熟,一致性差,效率低,制备成本高,所以现在多针对特殊领域的研究,难以产品化和推广。提出了一种基于电子印刷工艺制备薄膜热电传感器的新方法,该方法克服了以往工艺的弊端,为热电传感器的微型化、高速化、集成化发展提供了新的研究方向。

关 键 词：传感器 薄膜 热电 进展 电子印刷 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]