光学基片表面镀金薄膜的激光清洗阈值和损伤阈值  

Laser Cleaning Threshold and Damage Threshold of Gold-Plating Thin Film on Optical Substrate Surface

作　　者：史兴宽[1] 徐传义[1] 任敬心[1] 王健 巴瑞璋 

机构地区：[1]西北工业大学精密超精密加工技术研究室 [2]中国航空工业制造工程研究所

出　　处：《航空制造技术》2000年第5期34-36,共3页Aeronautical Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金;航空基础科学基金;西北工业大学"双新工程"资助

摘　　要：介绍了光学基片表面镀金薄膜激光清洗的原理和装置。利用激光加工机对光学玻璃表面的镀金薄膜进行了激光清洗试验 。This paper introduces laser cleaning principle and device of gold_plating thin film on optical substrate surface. By using laser machining device, laser cleaning experiments of gold_plating thin film on optical glass surface have been studied, laser cleaning threshold and damage threshold of gold_plating thin film have been obtained.

关 键 词：光学基片 激光清洗 镀金薄膜 清洗阈值 损伤阈值 

分 类 号：TG665[金属学及工艺—金属切削加工及机床] V261.8[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]