Φ2mm棒状压电陶瓷微马达的研究  

作　　者：阎立[1] 褚祥诚[2] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实 [2]清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家

出　　处：《材料导报》2000年第Z10期178-179,共2页Materials Reports

摘　　要：研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸Φ２ｍｍ×１２ｍｍ，重量不足０．２５ｇ，稳定工作频带宽，约为３ｋＨｚ，最高空载转速不低于５００ｒ／ｍｉｎ。

关 键 词：微驱动器 压电陶瓷 压电超声微马达 微电机 

分 类 号：TM37[电气工程—电机] TM38