建立一种准确测定氢气、氖气和氩气三元混合气含量的方法  

Establishment of a method correctly measuring the content of gas mixture of helium, neon and argon

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作  者:谢程[1] 

机构地区:[1]武汉钢铁集团氧气有限责任公司,湖北省武汉市青山区白玉山430083

出  处:《深冷技术》2013年第7期57-60,共4页

摘  要:介绍利用热导气相色谱分析仪测定氢气、氖气和氩气三元混合气中各组分含量的分析方法,试验结果计算表明,该分析方法能够满足电子芯片保护气产品质量检测的要求。Here, one analysis method measuring content of each composition of gas mixture of helium, neon and argon with the thermal-conducting gas chromatography analyzer is briefed. The test result and the calculation shows that the analysis method can meet the requirements of testing the quality of protection gas for electronic chip.

关 键 词:气相色谱分析仪 混合气 含量测定 

分 类 号:TB663[一般工业技术—制冷工程]

 

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