SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用  

Application of SPC technology in high-purity silicon tetrafluoride production

作　　者：李丹丹[1] 李翔宇[1] 郑秋艳[1] 张净普[1] 孙秋丽[1] 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《化学工程师》2014年第1期15-17,28,共4页Chemical Engineer

摘　　要：本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象,论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用。In this paper, hydrogen fluoride content of high-purity silicon tetrafluoride production after distilla- tion was as quality management objects, was discussed preliminary application of quality control of THe SPC（sta- tistical process control） technology in the production of silicon tetrafluoride.

关 键 词：SPC 四氟化硅 控制图 过程能力指数 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]