扫描电声显微镜Ⅱ  

作　　者：殷庆瑞[1] 

机构地区：[1]中国科学院无机功能材料开放实验室上海硅酸盐研究所,上海200050

出　　处：《材料导报》2001年第2期46-46,共1页Materials Reports

摘　　要：扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和快速成像的特点。它的独特的成像机理是基于材料的微观电学和热弹性能的变化,用它能获取目前其它手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)观察试样的二次电子像(SEM)、电声像(SEAM)、热释电像和EBIC(V)像。

关 键 词：扫描电声显微镜 电声成像机理 电声显微术 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]