复合钒钼酸凝胶薄膜的湿敏特性研究  

The Humidity Sensing Properties of Poly-vanadium-molybdenum Acid Xerogel Thin Films

作　　者：童茂松[1] 戴国瑞[1] 闫玮[1] 高鼎三[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系,集成光电子国家重点联合实验室,长春130023

出　　处：《仪器仪表学报》2001年第1期45-48,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金 !(No.697760 38);国际合作项目资助项目

摘　　要：本文研究了复合钒钼酸凝胶薄膜的湿敏特性。复合钒钼酸凝胶薄膜的湿敏性能较复合钒酸好 ,而且其电阻随相对湿度的增加而减小 ,添加正硅酸乙酯 (TEOS)对其湿滞有明显的改进作用 ,含 5 wt% TEOS的薄膜的湿滞回差最小。同时器件的响应恢复较快。The humidity sensing properties of poly vanadium molybdenum acid xerogel thin films are described in this paper.The resistance of the thin films decreases with the increase of the relative humidity.The addition of ethyl silicate (TEOS) has a distinct improvement on the hysterics of the devices.The thin film containing 5wt% TEOS has the lowest hysterics.At the same time the response and the recovery are all quick.The XRD results show that the poly vanadium molybdenum acid xerogel thin films have layered structure.

关 键 词：湿度传感器 复合钒酸凝胶 薄膜 正硅酸乙酯 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TB381[自动化与计算机技术—控制科学与工程]