钛系化合物薄膜的制备方法及力学性能研究进展  

Research Process on Preparation Methods and Mechanical Properties of Thin Films Based on Ti Compound

作　　者：庄国志[1,2] 印凤 陈昌佐 章跃[2] 丁红燕[2] 

机构地区：[1]江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江212013 [2]淮阴工学院江苏省介入医疗器械研究重点实验室,江苏淮安223003

出　　处：《热加工工艺》2014年第4期12-16,共5页Hot Working Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51175212)

摘　　要：对TiN、TiC、TiB2为代表的钛系化合物薄膜的制备方法、力学性能及研究现状做了综述,并对其发展趋势做了展望。The preparation methods, mechanical properties and research status of such as TiN, TiC and TiB2 Ti-matrix films were overviewed. The developing trend of the films was also prospected.

关 键 词：钛系化合物 薄膜 力学性能 

分 类 号：TG174[金属学及工艺—金属表面处理]