模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究  

作　　者：黄红光[1] 郭钟宁[1] 王冠[1] 宋卿[1] 

机构地区：[1]广东工业大学机电工程学院,广州510006

出　　处：《腐蚀科学与防护技术》2014年第2期194-196,共3页Corrosion Science and Protection Technology

基　　金：国家自然科学基金重点项目(12ZK0160);国家青年科学基金项目(51205066);广东省自然科学基金项目(s20 12010009022);教育部博士点基金项目(20114420 120002)资助

摘　　要：通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响。蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势。这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除。但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加。

关 键 词：蚀刻深度 蚀刻压力 蚀刻间隙 

分 类 号：TG172[金属学及工艺—金属表面处理]