溶胶-凝胶法制备(Ba_(0.5)Sr_(0.5))TiO_3铁电薄膜及电性能研究  

The (Ba_(0.5)Sr_(0.5))TiO_3 ferroelectric thin films prepared by sol-gel precessing

作　　者：赵敏[1] 杨光[1] 顾豪爽[1] 

机构地区：[1]湖北大学物理学与电子技术学院,湖北武汉430062

出　　处：《湖北大学学报（自然科学版）》2000年第4期349-351,363,共4页Journal of Hubei University：Natural Science

基　　金：湖北省教委重点资助项目

摘　　要：研究了一种以水为溶剂的 (Ba0 .5Sr0 .5)TiO3(BST)源溶液 ,用Sol -Gel技术制备出BST薄膜 ,并研究了薄膜的结构和电性能 .结果表明 ,厚度为 16 0nm ,70 0℃保温 1h的 (Ba0 .5Sr0 .5)TiO3 薄膜呈现纯钙钛矿结构 ,在室温下 ,介电常数为 2 2 0 ,介电损耗为 0 .0 47,漏电流密度为 8.0× 10 -8A/cm2 .进一步研究发现 ,随着烧结温度的升高 ,薄膜的介电常数增高 。The (Ba 0.5 Sr 0.5 )TiO 3 ferroelectric thin films (160?nm) have been prepared at 700?℃ with heat preservation for 1?h by sol-gel method. The BST thin films exhibit good performance with dielectric constant of 220, a dissipation factor of 0.047, a leakage current density of 8.0×10 -8 A/cm 2. The dielectric constant of the BST films increases with the increasing of the sintering temperature, simultaneity, the dissipation factor declines.

关 键 词：BST薄膜 介电特征 电流-电压特性 溶胶--凝胶法 铁电薄膜 介电常数 介电损耗 钙钛矿结构 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理] O484.42[理学—物理]