接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)  

Design and Analysis of a Touch Mode Capacitive Microaccelerometer

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作  者:刘妤[1] 陈松[1] 顾雯雯[2] 

机构地区:[1]重庆理工大学机械工程学院,重庆400054 [2]西南大学工程技术学院,重庆400044

出  处:《传感技术学报》2014年第2期158-161,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基  金:重庆理工大学启动基金项目

摘  要:设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底"接触"前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。Touch mode effect is the most important subject for the touch mode sensor. By looking at MEMS devices, there have been good suggestions for solving the touch-down problems,but as of today none of the literatures has come up to a final analytical solution for calculating the touch down effect. In this paper,a novel touch mode capacitive microaccelerometer is developed. A simple analytical solution is presented to model the flexion of the circular diaphragm with clamped edges before and after touch point under the load, where the touch down effect and the evolution of touch radius are considered. All of these lay a foundation for the development of the touch mode sensor.

关 键 词:MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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