LBIC技术与半导体材料特性的表征  

作　　者：蔡炜颖[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所

出　　处：《红外》2000年第9期12-14,共3页Infrared

摘　　要：激光束诱发电流(LBIC)技术是一种高分辨、无破坏性的材料特性表征技术。它采用激光显微扫描探测由激光束诱发的电流,从而获取被测样品的特征。 LBIC电流产生的原理如图1所示。两个电极C远远地处于样品两端,一束激光在样品上扫过。

关 键 词：激光束诱发电流技术 半导体材料 无损检测 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]