X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量  

作　　者：王林[1] 李达成[1] 曹芒[1] 曹世志 L.Koenders U.Kuetgens P.Becker 

机构地区：[1]清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室,北京1000842 [2]中国计量科学研究院长度处,北京1000133 [3]联邦德国物理技术研究院

出　　处：《光学学报》2000年第12期1675-1679,共5页Acta Optica Sinica

基　　金：国家自然科学基金!( No.596750 79);德国物理技术研究院资助项目

摘　　要：X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位 ,可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将 X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来 ,利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案 。

关 键 词：纳米测量 扫描隧道显微镜 X射线干涉仪 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TH744.3[机械工程—光学工程]