IC工厂电力需求特点及配电设计中需要注意的几个问题  

作　　者：宋晓波 

机构地区：[1]上海华虹宏力半导体制造有限公司,上海市201203

出　　处：《电子技术与软件工程》2014年第4期174-174,222,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：本文结合笔者在IC工厂十几年的工作经验,从具体工厂运行者的角度,以一个8″IC工厂的实际用电需求为例,介绍其装机总容量、最大负荷、需用系数等实际使用信息及电力需求特点。同时,结合IC工厂特点,介绍了其专业制程设备的布置及用电特点。最后,笔者就IC工厂的配电设计给出一些具体的建议,如应急电源系统的选择方法、低压配电盘形式的选择方法等等。

关 键 词：IC工厂 制程设备 用电特点 配电设计 

分 类 号：TM727.3[电气工程—电力系统及自动化]