“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收  

出　　处：《电子技术与软件工程》2014年第5期8-9,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：2014年1月18，19同，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90．65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。

关 键 词：离子注入机 产业化 大角度 研发 纳米 集成电路制造 联合组织 验收工作 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]