基于硫化物系的湿敏元件的研究  

Study on the humidity sensors based on sulfide material

作　　者：赵志勇[1] 张彤[1] 任辉[2] 徐宝琨[1] 徐娓[3] 陈宏起[1] 全宝富[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系,吉林长春130023 [2]吉林大学生物资源学院,吉林长春130023 [3]吉林大学化学系,吉林长春130023

出　　处：《传感器技术》2001年第1期10-13,15,共5页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (6 99740 2 0 );吉林省科委资助项目

摘　　要：研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性 ,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性 ,对元件的频率特性、湿滞特性、响应 -恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了测试 。The sensitive properties of humidity sensors based on ZnS, CdS, Sb 2S 3,Sb 2S 5 sulfide materials have been studied. We found that the humidity sensors have excellent sensitivity and stability to relative humidity changing from 11% to 95%. The other properties of humidity sensors, such as frequency characteristic, stability characteristic, response-recovery time, complex impedance plots and humidity hysteresis have also been researched. The sensitive mechanism to humidity is discussed, too.

关 键 词：硫化物 湿敏元件 阻抗 化学传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]