用于GHZ级硅集成电感器的CoZrNb类磁膜的制造及高频性能  

Manufacture and It High Frequency Magnetic Property of CoZrNb Magnetic Film for GHZ Si-integrated Inductor

作　　者：薛蕙(编译) 姜劲(校) 

出　　处：《磁性元件与电源》2014年第2期146-148,共3页Components and Power

摘　　要：1引言现代电子设备的小型化和多功能化的发展趋势，不断要求和推动着电子元器件的微小型化、集成化和模块化技术的创新发展，其中，以减小无源电感元件的尺寸、重量并实现平面化的使命尤为紧迫和重要。

关 键 词：集成化 高频性能 电感器 GHZ 制造 磁膜 b类 微小型化 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]