多晶硅生产废气处理工艺  

作　　者：杨永亮[1] 张志刚[1] 严大洲[1] 肖荣晖[1] 汤传斌[1] 

机构地区：[1]中国恩菲工程技术有限公司

出　　处：《世界有色金属》2014年第4期32-33,共2页World Nonferrous Metals

摘　　要：针对多晶硅生产废气难以处理的问题,采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷,同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素,降低外排废水中氯离子含量,创造环保和经济双重效益。

关 键 词：废气处理工艺 多晶硅 生产 氯离子含量 外排废水 氯硅烷 氯元素 氯化钙 

分 类 号：X701[环境科学与工程—环境工程]