浅述计量光栅技术  

A Brief Description of Metrological Grating Technology

作　　者：徐腾寅[1] 

机构地区：[1]上海市质量监督检验技术研究院,上海201114

出　　处：《计量与测试技术》2014年第4期59-60,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破。

关 键 词：计量光栅 莫尔条纹 光栅光学系统 光栅细分技术 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]