新的ReticleSense空气颗粒传感器(APSR)  

A New ReticleSense Air Particle Sensor(APSR)

出　　处：《办公自动化（综合月刊）》2014年第4期30-30,共1页Office Informatization

摘　　要：电子组装和半导体制程设备的智能检测和感应解决方案全球领导者CyberOpticsRCorporation在2月23日至27日在加州圣荷西举办的SPIE高级光刻展会上演示ReticleSenseTM空气颗粒传感器（APSR）.使用APSR,光刻工程师能够监测半导体制程设备内光罩所能到达位置的空气颗粒情况,从而改善系统设置,增加长期产量.

关 键 词：传感器 颗粒 空气 制程设备 SPIE 智能检测 电子组装 半导体 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]