He离子辐照碳化钨样品的实验研究  

Experimental Research of Wolfram Carbide Irradiated by Helium Ions

作　　者：杨杞[1] 刘东平[1] 范红玉[1] 刘纯洁[1] 袁凯[1] 

机构地区：[1]大连民族学院物理与材料工程学院,辽宁大连116605

出　　处：《大连民族学院学报》2014年第3期289-292,共4页Journal of Dalian Nationalities University

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DC12010116)

摘　　要：采用能量为100 keV的He离子辐照多晶碳化钨样品,He离子的辐照剂量为1.0×1017ions·cm-2,辐照温度从室温变化到600℃。通过SRIM软件模拟了离子的注入深度,利用导电式原子力显微镜(CAFM)分析了多晶碳化钨样品在He离子辐照条件下微观结构的演化。结果表明,He离子辐照会导致多晶碳化钨样品形成He泡,从而使样品表面发生肿胀。Poly-crystalline Wolfram Carbide（ WC） samples have been irradiated with 100 keV He ions at the fluence of 1. 0 × 1017 ions·cm-2 and the sample temperature of 25-600 ℃. The depth of ion implantation has been simulated by SRIM. Micro-structural evolution of these irra-diated WC samples has been estimated by using the non -destructive conductive atomic force microscopy （ CAFM） . Measurement indicates that He bubbles are formed in the destroyed layer and lead to swelling of the sample surface.

关 键 词：辐照损伤 导电式原子力显微镜(CAFM) He泡 

分 类 号：O536[理学—等离子体物理]