制冷机低温泵自动再生系统的研究  

Research on the Auto-regeneration System of Cryopumps

作　　者：龙瑛[1] 陈家富[1] 严善仓[1] 

机构地区：[1]信息产业部第十六研究所,合肥230043

出　　处：《低温与超导》2001年第1期8-21,共14页Cryogenics and Superconductivity

摘　　要：制冷机低温泵应用广泛 ,但连续运转时再生必不可少。文中介绍了由单片机组成的制冷机低温泵自动再生系统 ,对再生过程进行了讨论 ,再生参数可由用户设定 ,因此具有自动化程度高 ,使用灵活方便等特点 ,可得到广泛的应用。In this paper, the action of regeneration is discussed in details, and a kind of auto-regeneration system is introduced. The system includs mainly, the Mcs-51 chip microcomputer control section and the vacuum valve section.

关 键 词：制冷机 低温泵 自动再生系统 再生过程 

分 类 号：TB651[一般工业技术—制冷工程] TB655