扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究  

Reseach Into the Methed of Compensation of Absolute Pressure Capsule with Diffusing Sillicon

作　　者：张秀珍[1] 马秀娟[1] 戴伏生[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学威海分校

出　　处：《计量与测试技术》2001年第1期15-16,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构 ,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法 。

关 键 词：压力传感器 温度补偿 稳定性 结构 扩散硅 工作原理 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]