宽线性GMI磁传感器的研制  

Research and fabrication of wide linear GMI magnetic sensor

作　　者：周初凯[1] 郑金菊[1] 金林枫[1] 杨光[1] 王红洲[1] 赵静[1] 

机构地区：[1]浙江师范大学信息电子技术研究所,浙江金华321004

出　　处：《传感器与微系统》2014年第7期73-74,78,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11079029;61274099);国家"973"计划资助项目(2012CB825705)

摘　　要：用单辊快淬法制备的Fe76Si7.6B9.5P5C1.9非晶合金薄带,在540℃空气中退火后具有宽线性的磁敏特性。利用纵向驱动的方法研制一种巨磁阻抗(GMI)传感器,该磁传感器重复性好,迟滞误差小,在-0.3^+0.3 kA·m-1范围具有比较好的线性度,灵敏度达到12.65mV/A·m-1。The amorphous alloy ribbon with Fe76Si7.6B9.5P5C1.9prepared by single roller rapid quenching has wide linear magnetic sensitive properties after annealing in air at 540 ℃.A kind of giant magnetic impedance（ GMI） sensor using longitudinal driven method is researched and fabricated,this magnetic sensor has good repeatability,and small hysteresis error,in addition,it has good linearity at range of- 0.3～ ＋ 0.3 kA·m- 1,and sensitivity reaches 12.65 mV /A · m- 1.

关 键 词：巨磁阻抗效应 磁传感器 Fe基非晶薄带 线性度 灵敏度 

分 类 号：TP212.13[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]