切割法生产硅芯电学性能的控制  

作　　者：吕维基 李春振[1] 

机构地区：[1]昆明冶研新材料股份有限公司,云南曲靖655000

出　　处：《中国科技博览》2014年第28期67-68,共2页China Science and Technology Review

摘　　要：本文对切割法生产硅芯的工艺进行了介绍，阐述了生产过程中如何控制硅芯的电学性能，以满足多晶硅生产对硅芯的质量要求，包括切割法生产硅芯的工艺流程、多晶硅生产对硅芯的质量标准、如何控制直拉硅棒电阻率、硅棒中的氧、硅棒加工前的退火处理，尤其是就如何控制直拉硅棒电学性能和硅棒中的氧施主进行详细分析。

关 键 词：硅芯 直拉硅棒 硅芯切割 氧施主 导电类型 电阻率 

分 类 号：TU855[建筑科学]