稀土－SnO_2薄膜气敏特性的研究  

THE RESEARCH ON GAS SENSING PROPERTY OF EARTH-SnO_2 THIN FILM MATERIAL

作　　者：王晓俊[1] 傅敏恭[1] 王海源 陈戬 

机构地区：[1]南昌大学高新技术研究所

出　　处：《南昌大学学报（理科版）》1995年第1期7-12,共6页Journal of Nanchang University(Natural Science)

基　　金：江西省自然科学基金和南昌大学校基金

摘　　要：本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的Ｓｎｏ＿２膜气敏元件，并测试了薄膜的气敏特性。掺杂元件改善了对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度和选择性，而对苯、丁烷、液化石油气、ＮＨ＿３、Ｈ＿２和煤气等不敏感。The gas sensors have been manufactured by evaporating Sn in vacuum,oxiding Snfilm and immersing.The gas sensing property of earth-SnO_2 thin film material was studied.The doped gas snensors improve the sensitivity and selectivity to CH_3CH_2OH,CH_3COCH_3and have low sensitivity and selectivity to C_6H_6,C_4H_10,LPG,NH_3,H_2 and coal gas.

关 键 词：稀土氧化物 薄膜 气敏特性 氧化锡 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理] TN379[理学—物理]