质子活化分析法测定硅中微量碳  

Proton activation analysis of carbon in silicon

作　　者：荣廷文[1] 成源棣[1] 鲍锦荣 林森浩[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海原子核研究所

出　　处：《核技术》1991年第3期176-178,共3页Nuclear Techniques

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文叙述了利用^(13)C(p,y)^(13)N和^(13)C(p,n)^(13)N核反应,并用碱熔融法,以NH_3的形式分离出^(13)N来测定半导体硅中的微量碳。方法灵敏度可达0.1ppm。The determination of carbon in silicon by proton activation was described. 12C (p, γ)15N and 13C(p, n)13N reactions were used. 13N was separated by an alkaline melting process. Sensitivity of the method is 0.1 ppm.

关 键 词：质子活化分析 奎 碳 碱熔融法 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]