采用全息光学元件的非接触光学测头  

Using Holographic Optical Element in Non-contact Optical Probe

作　　者：庄葆华[1] 张吉华[1] 李真[1] 吕克谦[1] 王秉明 C.S.Ih 

机构地区：[1]天津大学精密仪器工程系 [2]美国特拉华大学

出　　处：《计量学报》1992年第1期19-23,共5页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文介绍一种采用全息光学元件构成的光触针式非接触光学测头,着重探讨了用电子束曝光法制作全息光学元件的一些技术问题,给出了部分计算机模拟及实验结果。In this paper,a non-contact optical probe using holographic optical element(HOE)is introduced.The technology about the fabrication of HOE employing electron-beam lithography is mainly discussed.Parts of the computer simulation and experimental results are also given.

关 键 词：光学测头 全息光学 电子束曝光法 

分 类 号：TN206[电子电信—物理电子学]