电子束半导体掺杂  

作　　者：于志战 

机构地区：[1]兰州物理研究所

出　　处：《半导体技术》1990年第1期33-38,共6页Semiconductor Technology

摘　　要：本文扼要介绍了国内外有关电子束半导体掺杂方面的实验技术、掺杂机理研究以及电子束半导体掺杂实用性等问题,提出了今后要进一步深入研究的几个问题。

关 键 词：电子束 半导体 掺杂 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]