第9届全国红外科技交流会论文摘要(2)  

作　　者：秦锋 周喻虹 

出　　处：《红外技术》1991年第2期43-47,共5页Infrared Technology

摘　　要：硫化锌钝化膜工艺研究郭今昌苏善良(航空航天部8358所)ZnS 的红外性质及与 MCT 相近的介电常数和温度系数等,使之利于制成与 MCT 匹配良好且在8～14μm 波段透明的抗反射膜。本文分析了 MCT上离子束溅射镀 ZnS 钝化膜的特点,讨论了离子束溅射镀膜的工艺,报道了采用 LK-2型离子束蚀刻机镀膜的实验结果。溅射镀 ZnS 膜的 n=2.

关 键 词：红外技术 红外仪器 

分 类 号：TN21[电子电信—物理电子学]