低温容器的氦质谱检漏  

作　　者：张楠[1] 张宏 

机构地区：[1]黑龙江大学电子工程学院,150080 [2]哈尔滨石油化工厂,150030

出　　处：《信息技术》2001年第4期5-6,共2页Information Technology

摘　　要：分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题 。

关 键 词：氦质谱检漏 低温容器 整体氦罩法 局部罩擢法 逆扩散检漏 

分 类 号：TH843[机械工程—仪器科学与技术]