迎接纳米时代的到来  

作　　者：谢中生[1] 

机构地区：[1]甘肃平凉信息产业部电子第四十五研究所,甘肃平凉744000

出　　处：《电子工业专用设备》2001年第1期59-61,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：概述纳米技术的发展 ,展现纳米技术的前景 ,并揭示纳米技术给半导体设备产业带来新的机遇。

关 键 词：纳米技术 半导体设备产业 特种结构材料 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]