Al_2O_3陶瓷激光打孔重铸层的研究  

Study on the Re-cast Layer for Laser Drilling of Al_2O_3 Ceramics

作　　者：张罡[1] 梁勇[2] 

机构地区：[1]沈阳工业学院材料科学与工程分院,辽宁沈阳110016 [2]中国科学院金属研究所激光加工室

出　　处：《沈阳工业学院学报》2001年第2期1-4,共4页Journal of Shenyang Institute of Technology

基　　金：国家自然基金资助项目 (5 95 75 0 6 7)

摘　　要：重铸层及重铸层中产生的微裂纹是影响陶瓷激光打孔质量的主要原因 ,本文采用 YAG激光器对 Al2 O3打孔 ,研究了脉冲频率、平均功率对重铸层的影响 ,并采用准分子激光器进行打孔的对比试验 ,讨论了准分子打孔时 ,消除重铸层及重铸层裂纹的机理 .Recast layer and microcrack in re cast layer is critical to laser drilling of ceramics. By using the YAG laser for drilling Al 2O 3 ceramics in se different pulse repetition and different mean power, as well as using excimer laser (XeCl) for comparision with that on the same meterials, the effects of technological parameters and laser wavelengths on recase layer were studied.

关 键 词：激光 打孔 重铸层 微裂纹 三氧化二铝陶瓷 

分 类 号：TG665[金属学及工艺—金属切削加工及机床]