用多功能光栅光谱仪测定GaN膜的光学参数  

The optical parameter measurement of GaN by multifunction spectrophotometer

作　　者：王艳辉[1] 段家 姚坤[2] 童玉珍[2] 张国义[2] 

机构地区：[1]大连理工大学物理系,辽宁大连116023 [2]北京大学物理系,北京100871

出　　处：《大学物理》2001年第5期37-39,共3页College Physics

摘　　要：介绍了用多功能光栅光谱仪测量GaN膜的吸收系数、折射率等光学参数的方法 。A method of measuring the optical parameters of GaN by multifunction spectrophotometer is introduced.The results are analyzed.

关 键 词：吸收系数 折射率 消光系数 氮化镓膜 多功能光栅光谱仪 禁带宽度 测量 

分 类 号：TN304.23[电子电信—物理电子学] O484.41[理学—固体物理]