一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法  

作　　者：李根乾[1] 谭玉山[2] 

机构地区：[1]西北工业大学，西安710072 [2]西安交通大学，西安710049

出　　处：《光子学报》2000年第Z01期381-385,共5页Acta Photonica Sinica

摘　　要：物体三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法，以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点，而被广泛地应用。本文设计并实现了一种快速半导体线光源，提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法，大大提高了阴影莫尔测量的速度和精度，实现了非接触、无机械运动、无运行噪声、全光电测量的IC形变测量与分析系统。该系统的3σ重复精度为10μm。

关 键 词：半导体线光源 阴影莫尔测量 变光源 

分 类 号：TN29[电子电信—物理电子学]